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BFV真空蝶阀

  1. 产品特点
  2. 典型应用

BFV系列真空蝶阀是一种集压力控制器与机械运动结构于一体的真空阀门,其主要作用是通过调整阀板的角度来控制、调节和隔离真空系统的气体流速和流量,从而实现真空设备在不同制程或工艺过程中气体流动和真空压力的精确调节和控制。广泛应用于半导体,太阳能、平板显示,CVD等产业真空制程的快速控压要求。


非常快速准确的压力控制 阀门位置控制

传感器电源:24VDC   

2个模拟量输入(0-10v)

 一路模拟量输出(0-10v)

环境温度:

状态与位置以四位数码管显示以及3个信号灯显示

 包含手动旋钮模式


BFV真空蝶阀

阀体:304S.S.

阀板:304S.S.

旋转轴:304S.S.

阀板密封全:FKM

轴封:FKM

法兰:KFISO

安装位置:任意方向

使用寿命:打开关闭/250,000

1个大气压差下的氦气泄漏率:

工作温度:10~70

驱动器:步进电机

通讯接口:RS232/RS485/EtherCat

控制与驱动

输入电压:24VDC(±10%

额定功率:70w

提供真空计电源:24VDC

模拟量输入

数量:2个独立通道(读取真空计或开度信号)

输入:0-10v电压/4-20mA电流

分辨率:16bit

输入电阻:Ri>=21kΩ

模拟量输出

数量:1个通道(输出开度信号)

输入:0-10v电压/4-20mA电流

KF25 KF40

打开时间:最快0.8sec

关闭时间:最快0.8sec

阀门最大扭矩:10N·M

位置分辨率:125000-90度旋转)

KF50 DN50 ISO80 ISO100 ISO150

打开时间:最快2sec

关闭时间:最快2sec

阀门最大扭矩:20N·M

位置分辨率:250000-90度旋转)

 ISO80 ISO100 ISO150 ISO200

打开时间:最快2sec

关闭时间:最快2sec

阀门最大扭矩:20N·M

位置分辨率:250000-90度旋转)


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